蔡司GeminiSEM 300掃描電鏡;
GeminiSEM 系列產(chǎn)品基于蔡司成熟的Gemini 技術(shù),該技術(shù)運(yùn)用超過 20 年之久。配備有完整高效的探測(cè)系統(tǒng),并具有出色的分辨率和易用性等特點(diǎn)。蔡司 Gemini 物鏡設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場(chǎng)與磁場(chǎng),提高電子光學(xué)性能的同時(shí)也將它們對(duì)樣品的影響降低。無漏磁物鏡設(shè)計(jì),可以對(duì)如磁性材料等極具挑戰(zhàn)的樣品進(jìn)行高品質(zhì)成像。在 Gemini 鏡筒設(shè)計(jì)理念中,同時(shí)運(yùn)用 Inlens 二次電子(SE)和背散射電子(BSE)探測(cè)器來確保高效的信號(hào)檢測(cè)。Inlens 探測(cè)器均放置在鏡筒內(nèi)正光軸上,在減少重新校準(zhǔn)的同時(shí)有效地縮短了獲取圖像的時(shí)間。Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以保證在非常低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。此外,它讓電子束經(jīng)過加速后以高電壓通過鏡筒, 最終再減速至設(shè)定電壓后出鏡筒,從而減小外部雜散磁場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)靈敏度的影響。


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