XPS指的是X-ray Photon-electron Spectroscopy（光電子能譜儀），是一種基于光電效應(yīng)，采用X射線激發(fā)被測樣品表面nm尺度內(nèi)的原子發(fā)射光電子，通過系統(tǒng)探測到所發(fā)射光電子的動能等信息，進(jìn)而分析樣品表面的元素種類及化合態(tài)的定性和定量分析的一種技術(shù)。XPS技術(shù)目前已有超過40年的應(yīng)用歷史。目前廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)測試領(lǐng)域，包括化工、催化、薄膜、半導(dǎo)體、鋼鐵、納米材料以及微器件等。 賽默飛世爾表面分析部門的前身----英國VG科技公司是一家有著超過40年的表面分析和超高真空儀器研發(fā)和制造的公司，在定型光電子能譜儀的間斷技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)品更新等方面走在市場的前列，目前可提供光電子能譜儀型號超過5種，可滿足科研、測試、工業(yè)質(zhì)量控制等各個領(lǐng)域的應(yīng)用需求。2010年國內(nèi)同類產(chǎn)品市場占有率超過70%。

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