隔膜真空泵是通過電機進行圓周旋轉運動，驅動連接器和同心圓軸承連桿，連桿上下活動的同時拉動隔膜做上下運動，將泵腔內的空氣從排氣閥片壓出，并經(jīng)過真空泵的排氣口排出，使得泵頭腔體內形成一定的真空。進而真空泵的抽氣口內部與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體連續(xù)不斷的吸入真空泵的腔體內。隔膜真空泵區(qū)別于活塞式、旋片式真空泵的主要區(qū)別就在于做上下運動，將空氣壓出排氣閥和真空泵腔體內的關鍵部件為隔膜片。
       
隔膜真空泵根據(jù)機體材質不同可以主要分為普通隔膜真空泵和防腐蝕隔膜真空泵。普通隔膜真空泵主要的隔膜部分一般采用橡膠、尼龍、或者是在橡膠隔膜表面噴涂含有一定氟材料的涂層。而其他氣體管路、接頭、泵頭腔體則材料工程塑料、鑄鐵、鋁合金等材質。這些材料的運用已經(jīng)可以滿足大部分抽氣的需要，例如水溶液的真空過濾、液體真空抽吸、一般樣品的干燥、小部件的真空吸引等。
 
而實驗室防腐蝕隔膜真空泵則被設計用于旋轉蒸發(fā)儀、離心濃縮機、揮發(fā)腐蝕性樣品的干燥、減壓蒸餾等容易產(chǎn)生揮發(fā)性、有機氣體、酸堿腐蝕性的應用中。在材料上使用了聚四氟乙烯材料制作隔膜，較為基礎的產(chǎn)品一般會使用聚四氟乙烯制作隔膜部分，氣路、腔體、接頭等部件仍然使用金屬和塑料材質制作。耐酸堿、有機、腐蝕性能更加的機型如Sciencetool圣斯特的CH411防腐蝕無油化學隔膜真空泵則大量使用了PTFE聚四氟乙烯材質，包括進氣接口、氣路管道、泵頭、隔膜、出氣接口等所有和氣體接出的部分。例如泵頭整體為PTFE材質模具注塑一體成型，即具有良好的耐腐蝕性能，一體成型又使得密封性好，腐蝕性氣體不會揮散在室內空氣中。同時真空表、調節(jié)閥等部件也采用了防腐蝕設計。在電源開關位置還特別設計了防溶劑滴濺保護套。
       
在具體使用中，用戶應當根據(jù)自身的實際使用和搭配的設備，來選擇是否需要耐腐蝕，如上所屬，諸如真空過濾、液體真空抽吸、小型的透明干燥器、一般樣品的真空干燥、小零件或工件的真空吸引、涂布機等等，都可以使用一般真空泵來滿足。而旋轉蒸發(fā)儀、離心濃縮機、揮發(fā)腐蝕性樣品的干燥、減壓蒸餾則務必使用防腐蝕隔膜真空泵。否則在短時間內，金屬的泵管接口會變色生銹、塑料泵管接口則會發(fā)白開裂。而在使用一段時間后，普通真空泵內部的橡膠、金屬材質的隔膜和氣閥片等部件也會腐蝕或變形。