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簡 介納米光刻是一種非常有前途的制造技術(shù)。不同于激光干涉,深紫外,電子束或離子束光刻,納米光刻技術(shù)擁有平行放大的特點,以及在復(fù)雜基底結(jié)構(gòu)如曲面上刻蝕的能力。
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